МИКРО - И НАНОЭЛЕКТРОМЕХАНИКА

В современной микроэлектронике наиболее интенсивноразвивающимся сектором являютсямикроэлектромеханические системы, MEMS. Это направление базируется на последних достиженияхмикроэлектронных технологий и имеет целью созданиеисполнительных микромеханизмов,обладающих недостижимыми ранее функциональными возможностями.В последние годы MEMS оказывает большое влияние наповседневную жизнь десятков миллионов людей,черезсоздания новых рынков мобильной электроники,обладающих ранее неизвестными потребительскимисвойствами и на отрасли промышленности,-автомобильную, электронную,аэрокосмическую,медицинскую и т.д. Однако к настоящему времени большинство специалистов,разработчиков электронной техники и пользователейустройств высоких технологий обладает недостаточнойинформацией о новом направлении микроэлектроники. В книге рассматривается современное состояния этогонаправления микроэлектроники, широкий спектр егопрактических возможностей и перспектив дальнейшегоразвития. Рассматриваются физические принципыфункционирования MEMS, их характеристики.Книга рассчитана на специалистов в областимикроэлектроники, информатики, и на студентовтехнических вузов.