Атомно-силовая микроскопия наноструктурированных поверхностей

Высококачественная полировка и последующее нанотекстурирование являются необходимыми этапами при подготовке подложек для создания на их основе целого ряда устройств, таких как силовые СВЧ транзисторы, сверхъяркие светодиоды на основе эпитаксиальных гетероструктур; лазерные гироскопы, ультрафиолетовые литографы и системы управления рентгеновскими пучками на основе многослойных интерференционных зеркальных покрытий. Предлагаемая Вашему вниманию книга будет интересна исследователям, занятым проблемами создания, исследования и сертификации таких подложек. В книге описаны особенности методологии исследования сверхгладких поверхностей методом атомно-силовой микроскопии, который приобретает все большее распространение благодаря высокому пространственному разрешению и ценовой доступности. Особое внимание уделяется диэлектрическим подложкам: влиянию на АСМ- изображения статического заряда поверхности и способу его устранения. Описаны методы статистической обработки АСМ данных с использованием спектрального анализа высот шероховатости, позволяющие сопоставлять данные АСМ с другими методами исследования поверхности: рентгеновским и световым рассеянием.