Книга содержит материалы по разработке оснастки, улучшающей равномерность нанесения тонких плёнок в вакуумной камере при термическом испарении материала с лодочек на подложку с диаметром более 100 мм. Автором предложены виды радио деталей и электр.схема для вращения подложки в оснастке, чертежи основных металл. деталей для изготовления и сборки оснастки. При нанесении покрытия на подложки из урана важным фактором является подготовка поверхностей для напыления другого материала. Описывая стандартный техпроцесс, автор отмечает, что использование спиртов при конечной очистке урановой подложки иногда препятствовало хорошей адгезии между подложкой и наносимым тонким металлическим слоем. Приложены фотографии с материаловедческими исследованиями, где хорошо видны результаты использования оснастки. Показан метод по снятию покрытия с урановых образцов с помощью металлической щётки. Обоснована малая эффективность такого метода с приложенными материаловедческими исследованиями, сделанными на электронном микроскопе. На этих же образцах предложена методика выявления качества очистки с помощью люминесцентного метода контроля. Сделаны выводы и определены наилучшие варианты люминесцентного метода.

Book Details:

ISBN-13:

978-613-9-45058-9

ISBN-10:

6139450586

EAN:

9786139450589

Book language:

Russian

By (author) :

Андрей Алексеевич Сущев

Number of pages:

56

Published on:

2019-02-21

Category:

Technology