Исследование пленок AlN и создание приборов на их основе

Прогресс современных средств связи и радиолокации, во многом заключающийся в повышении рабочих частот используемых устройств, диктует необходимость использования новых материалов, способных обеспечить работу в СВЧ-диапазоне. Ряд исключительных свойств делают нитрид алюминия крайне перспективным материалом для самых разных областей применения, в частности, для создания акустоэлектронных устройств. Целями данной работы были исследование процессов получения пленок нитрида алюминия с помощью высокочастотного магнетронного распыления, а также возможности их применения для создания акустоэлектронных приборов, работающих в СВЧ и КВЧ диапазонах.