LAP Lambert Academic Publishing ( 2012-04-27 )
€ 68,00
Давление является одной из основных величин, связанных с описанием жидких и газообразных сред. Большое разнообразие систем, в том числе и датчиковой аппаратуры, для измерения давлений объясняется тем, что понятие «давление» охватывает протяженную область значений – от сверхвысокого вакуума до сверхвысоких избыточных давлений. В данной работе рассматриваются основы проектирования, разработки, а также технологические аспекты изготовления полупроводниковых тензочувствительных элементов датчиков давлений, в частности, представлены общие вопросы измерения давления, тензоэффекта, принципы проектирования, разработки топологии, термокомпенсации полупроводниковых тензочувствительных элементов, а также рассмотрены основные технологические операции и методы их изготовления: химическая обработка пластин, окисление, диффузия, травление и др.
Book Details: |
|
ISBN-13: |
978-3-659-10329-2 |
ISBN-10: |
3659103292 |
EAN: |
9783659103292 |
Book language: |
Russian |
By (author) : |
Илья Баринов |
Number of pages: |
188 |
Published on: |
2012-04-27 |
Category: |
Hardware |