LAP Lambert Academic Publishing ( 2014-02-26 )
€ 39,90
В данной работе приведён аналитический обзор отечественной и зарубежной литературы по методу сухого вакуумного травления материалов, представлен обзор применяемой методики исследования. В работе представлены результаты оптимизации процессов реактивно-ионного плазменного и ионно-лучевого травления пассивационных слоёв интегральных микросхем в рамках технологии анализа отказов. В организационно-экономической части представлены расчёты стоимости и целесообразности данных исследований. Результатом проведённой работы стала новая методика удаления пассивационных слоёв интегральных микросхем в рамках технологии анализа отказов, отличающаяся от существующих высокой степенью планаризации поверхности кристалла интегральной схемы при минимальном повреждении межслойного диэлектрика.
Book Details: |
|
ISBN-13: |
978-3-659-20706-8 |
ISBN-10: |
3659207063 |
EAN: |
9783659207068 |
Book language: |
Russian |
By (author) : |
Даниил Абдуллаев |
Number of pages: |
88 |
Published on: |
2014-02-26 |
Category: |
Electronics, electro-technology, communications technology |