LAP Lambert Academic Publishing ( 2012-11-06 )
€ 59,00
Настоящая работа посвящена новым аспектам научного исследования, модернизации и применения источников ионов на основе газового разряда с полым катодом. Несмотря на то, что источники данного типа обладают рядом бесспорных достоинств, об их успешном применении в современных технологиях микроэлектроники известно крайне мало. В связи с этим, автор изучает работу источников на химически активных газах, в число которых входят органические соединения для «набирающей ход» углеродной (органической) электроники и детально описывает процессы создания новых технологических источников с улучшенными техническими характеристиками. Помимо этого, в число представленных в книге разработок входят источники с большой площадью поперечного сечения пучка частиц, востребованные промышленными производственными установками. Автор приводит результаты разработки и анализа основ технологий синтеза различных модификаций тонких пленок углерода, а также очистки подложек микроплат непосредственно с помощью пучков ионов.
Book Details: |
|
ISBN-13: |
978-3-659-29592-8 |
ISBN-10: |
3659295922 |
EAN: |
9783659295928 |
Book language: |
Russian |
By (author) : |
Евгений Шевченко |
Number of pages: |
160 |
Published on: |
2012-11-06 |
Category: |
Electronics, electro-technology, communications technology |