Тепловая деградация систем металлизации полупроводниковых приборов

Монография посвящена изучению температурных режимов работы систем металлизации (в том числе и многослойных структур металл-диэлектрик-полупроводник) при прохождении через них импульсов тока. Приведены результаты экспериментальных исследований, начиная от нагрева алюминиевой металлизации, напыленной на кремниевую подложку, вплоть до развития деградационных процессов, как в самой металлической пленке, так и в контакте металл-полупроводник. Рассматривается методика, позволяющая проводить диагностику контактных систем и определять область их безопасной работы. В монографии обсуждаются также процессы дефектообразования в кремниевой подложке и методы диагностики структурных дефектов, возникающих вблизи локальных тепловых источников. Рекомендуется для студентов и инженерно-технических работников, специализирующихся в области микроэлектроники и физики полупроводников.