Микро- и наномеханические многоосевые гироскопы-акселерометры

Рассмотрены принципы построения микромеханических сенсоров угловых скоростей LL-типа и сенсоров линейных ускорений L-типа, устройств обработки сигналов. Представлены предложенные методы построения функционально интегрированных многоосевых микро- и наномеханических сенсоров угловых скоростей и линейных ускорений LL-типа, уравнения движения их чувствительных элементов и модели жесткостей упругих подвесов микромеханических устройств. Работа адресована специалистам в области создания элементной базы микросистемной техники и может быть полезна аспирантам и студентам вузов соответствующих направлений. Работа выполнена при финансовой поддержке Министерства образования и науки России (проект №213.01–11/2014–12 в рамках базовой части государственного задания).