Математическое моделирование MEMS-систем

Актуальность работы обусловлена необходимостью разработки новых математических и компьютерных моделей, а так же эффективных численных алгоритмов и методов решения связанных электромеханических и термомеханических задач, позволяющих исследовать и прогнозировать параметры вынужденного движения и основные характеристики динамических микросистем, содержащих дефекты. Работа ориентирована на создание, в рамках прикладных исследований, новой расчетной технологии оценки условий возможной эксплуатации микроэлектромеханических систем, имеющих дефекты геометрии и свойств. Основной задачей является создание моделей поведения динамических многослойных микромеханических конструкций с диссипацией энергии, содержащих различные дефекты формы и свойств; методами вычислительного эксперимента установление влияния типовых дефектов на динамические характеристики рассматриваемых систем; решение обратных динамических задач и оценка возможности прогнозирования типа и величины дефекта; разработка и создание новой расчетной технологии оценки условий возможной эксплуатации микроэлектромеханических систем (MEMS).