Физико-химические основы проектирования микро- и наноэлектроники
LAP Lambert Academic Publishing ( 2019-09-26 )
€ 74,90
Рассмотрены теоретические основы чистых помещений, фильтрация воздуха, системы кондиционирования воздуха для чистых помещений, микроклимат производственных помещений, вентиляция производственных помещений, освещение производственных помещений, а также аттестация, эксплуатация и проектирование чистых помещений для микроэлектронной промышленности. Представлены контрольные вопросы. Рис. 41. Табл. 28. Библиогр.: 24 назв.
Book Details: |
|
|
ISBN-13: |
978-620-0-32523-5 |
|
ISBN-10: |
6200325235 |
|
EAN: |
9786200325235 |
|
Book language: |
Russian |
|
By (author) : |
Алёна Кадомцева |
|
Number of pages: |
276 |
|
Published on: |
2019-09-26 |
|
Category: |
Chemistry |