Фотолюминесценция пленок нитрида кремния облученных быстрыми ионами

В работе представлены результаты экспериментального исследования люминесцентных свойств, пленок нитрида кремния, различного стехиометрического состава. Физические основы формирования новых материалов и технологий в настоящее время находятся в центре внимания многих исследователей. Результаты изучения их свойств позволили осуществить инновационные технологические решения, воспроизводимые в больших экономически выгодных масштабах. Исключительно важным для развития любой технологии является фундаментальный аспект изучения структур и материалов. Сложность нанофизики связана с малостью масштаба. Контролируя размеры структурных составляющих материала можно изменять электронные, оптические и химические свойства, а также производить материалы с новыми функциональными свойствами.