Лекции по моделированию элементов интегральных схем микроэлектроники

В учебном пособии дан единый взгляд на построение моделей элементов кремниевых интегральных схем (ИС) микроэлектроники на основе фундаментальной системы уравнений физики полупроводниковых приборов. Приведены классификация моделей и подходы к их синтезу. Описаны основные используемые на практике модели и рассмотрены методы идентификации их параметров. Приведены сведения о программном обеспечении моделирования элементов и фрагментов ИС, а также дана его классификация. Курс лекций по данному предмету читается автором в Белорусском государственном университете информатики и радиоэлектроники, начиная с 1994 года, и отражает его опыт работы в этой области с 1975 года. При этом в лекции был включен лишь «золотой фонд» дисциплины. Пособие предназначается для студентов старших курсов соответствующих специальностей и может быть полезно аспирантам, магистрантам и инженерам, использующим модели ИС в своих исследованиях.