LAP Lambert Academic Publishing ( 2023-05-17 )
€ 55,90
В монографии рассмотрены современные состояние и проблемы получения имплантированных слоев кремния, условия и методика проведения экспериментов в области молекулярно-лучевой эпитаксии, профили распределения концентрации составе слоев кремния, а также структурные и физические процессы в кремнии, ионно-имплантированных атомами переходных групп. Монография предназначена для преподавателей, магистров и студентов, а также для научных сотрудников и инженерно-технических работников занимающихся разработкой новых тонких пленочных материалов с модифицированными свойствами на основе кремниевых силицидных структур, полученных ионным легированием.
Book Details: |
|
ISBN-13: |
978-620-6-16404-3 |
ISBN-10: |
6206164047 |
EAN: |
9786206164043 |
Book language: |
Russian |
By (author) : |
Б. Э. Эгамбердиев |
Number of pages: |
136 |
Published on: |
2023-05-17 |
Category: |
Monographies |