LAP Lambert Academic Publishing ( 2014-12-22 )
€ 61,90
В монографии изложены результаты математического моделирования процесса образования тонких плёнок на подложках (при различных температурах и с течением времени). Рассмотрена математическая модель проникновения атомов плёнки в глубину подложки. Представлены аналитические и численные решения обратных задач, возникающих при математическом моделировании роста тонких плёнок на подложках. Изложено экономико-математическое моделирование производства тонких плёнок, учитывающее технологию их произвоства. Монография предназначена для специалистов в области прикладной математики, физики твёрдого тела, в опто- и микроэлектронной промышленностях и т.д.
Book Details: |
|
ISBN-13: |
978-3-659-64665-2 |
ISBN-10: |
3659646652 |
EAN: |
9783659646652 |
Book language: |
Russian |
By (author) : |
Елена Тарасенко |
Number of pages: |
132 |
Published on: |
2014-12-22 |
Category: |
Mathematics |