LAP Lambert Academic Publishing ( 2015-01-09 )
€ 82,90
Травление фосфида индия во фторсодержащих и хлорсодержащих средах входит в арсенал методов современной микроэлектроники, позволяющих формировать объекты с пониженной размерностью. Пористый InP обладает различными физико-химическими свойствами: фото- и электролюминесценцией, адсорбционной чувствительностью, свойствами фотонных кристаллов и др. Помимо изучения свойств создаваемых веществ особый интерес представляет исследование специфики физических процессов, лежащих в основе порообразования. Определение этих аспектов открывает большую перспективу в изучении как динамики процессов порообразования, так и влияния различных факторов на морфологические и физико-химические свойства пористого InP. Монография предназначена для специалистов, работающих в отрасли нанотехнологии, а также для студентов высших учебных заведений.
Book Details: |
|
ISBN-13: |
978-3-659-67336-8 |
ISBN-10: |
3659673366 |
EAN: |
9783659673368 |
Book language: |
Russian |
By (author) : |
Яна Сычикова |
Number of pages: |
300 |
Published on: |
2015-01-09 |
Category: |
Technology |