Кремнийгерманиевые наноструктурированные пленки и нанокластеры

В книге изложены основные фундаментальные и прикладные достижения в области создания и применения наноструктурированных функциональных материалов из кремнийгерманиевых нанопленок и нанокластеров. Определены закономерности и установлены особенности формирования наноструктурированных функциональных структурных элементов из кремнийгерманиевых наноструктурированных пленок и нанокластеров. Большое внимание уделено процессу химического парогазового осаждения наноструктурированных пленок на различных поверхностях, в том числе, на слоях пористого кремния и с использованием катализаторов. Рассмотрены подходы к созданию условий самоорганизации нанокластеров с помощью различных технологических приемов и пути создания МДП-структур с их использованием. Книга предназначена для широкого круга научных работников, исследователей и технологов-разработчиков наноматериалов и нанотехнологий в электронной, радиотехнической и металлургической промышленности.