Многослойные тонкопленочные покрытия на изделиях большого размера

Нанесение различных многофункциональных покрытий в вакууме, традиционно применявшееся при производстве изделий микроэлектроники, электровакуумных приборов, дисков памяти в настоящее время используется также для получения упрочняющих, износостойких, оптических, теплозащитных, коррозионностойких и т. д. покрытий. Большинство из них представляют собой многослойные композиции, состоящие из чередующихся слоев металлов и их соединений (оксидов, нитридов, карбидов и т. д.), что определяется типом и областью применения изделия. Одним из наиболее широко используемых вакуумных методов получения оксидов и нитридов металлов является реактивный метод нанесения. Внутри вакуумной камеры формируют поток молекул металла, движущийся по направлению к изделию, и напускают реактивный рабочий газ, который вступает в реакцию с молекулами металла и образует требуемое соединение. Обеспечение однородности газовой среды в месте проведения технологического процесса является одной из основных задач при проектировании нового технологического оборудования. В книге рассмотрены сложности, возникающие при решении этой задачи и предложены пути ее решения.