Сверхвысокочастотные сегнетоэлектрические варакторы

Приведен обзор сведений из научно-технической литературы по исследованию нелинейного отклика пленочных сегнетоэлектрических конденсаторов и планарных линий передачи на сигналы СВЧ повышенного уровня мощности. Рассматриваются разрабатываемые в настоящее время электроакустические СВЧ фильтры на основе пьезоэлектрических материалов. Приведены методики исследования, результаты моделирования и экспериментальных исследований нелинейного отклика емкостных элементов на основе сегнетоэлектрических пленок на СВЧ сигнал повышенного уровня мощности, а также сегнетоэлектрических нелинейных линий передачи. Принцип работы таких линий основан на зависимости от напряжения скорости распространения электромагнитной волны в периодически нагруженной сегнетоэлектрическими варакторами или распределенной (полосковая, копланарная) сегнетоэлектрической линии передачи. Представлены исследования наведенного пьезоэффекта в плоскопараллельных сегнетоэлектрических варакторах, представляющих собой многослойный акустический резонатор. Показана возможность электрической перестройки рабочей частоты устройств на объемных акустических волнах в многослойных структурах с несколькими пленками сегнетоэлектрика.