LAP Lambert Academic Publishing ( 15.07.2020 )
€ 35,90
Цель работы является изучение физических и технологических процессов получения эффективных тонких пленок теллурида кадмия со столбчатой структурой зерен (кристаллов), в которых зерни пронизывают всю толщину пленок (d=3-5 мкм). Анализ литературных данных показывает, что пока не разработан наиболее перспективный метод получения тонких фоточувствительных пленок теллурида кадмия. Поэтому приставляет большой научный и практический интерес определение физические и технологические основы получение тонких фоточувствительных пленок теллурида кадмия. Конкретизированы физические и технологические принципы получения тонких фоточувствительных пленок CdTe по методам сублимации в потоке водорода, магнетронно - ионного распыления. И получение пленок по методу вакуумного распыления в квазизамкнутом системе. Проведен термодинамический расчет кинетики роста пленок CdTe при синтезе их методом сублимации в потоке водорода и путем распыления в вакууме в квазизамкнутом системе. Также проведен расчет и для магнетронного ионного распыления. При этом установлено оптимальные технологические параметры роста пленок со стехиометрическим составом.
Детали книги: |
|
ISBN-13: |
978-620-2-67981-7 |
ISBN-10: |
6202679816 |
EAN: |
9786202679817 |
Язык книги: |
Russian |
By (author) : |
Султанпаша Анваровна Музафарова |
Количество страниц: |
72 |
Опубликовано: |
15.07.2020 |
Категория: |
Физическая химия |