LAP Lambert Academic Publishing ( 26.02.2014 )
€ 39,90
В данной работе приведён аналитический обзор отечественной и зарубежной литературы по методу сухого вакуумного травления материалов, представлен обзор применяемой методики исследования. В работе представлены результаты оптимизации процессов реактивно-ионного плазменного и ионно-лучевого травления пассивационных слоёв интегральных микросхем в рамках технологии анализа отказов. В организационно-экономической части представлены расчёты стоимости и целесообразности данных исследований. Результатом проведённой работы стала новая методика удаления пассивационных слоёв интегральных микросхем в рамках технологии анализа отказов, отличающаяся от существующих высокой степенью планаризации поверхности кристалла интегральной схемы при минимальном повреждении межслойного диэлектрика.
Kitap detayları: |
|
ISBN-13: |
978-3-659-20706-8 |
ISBN-10: |
3659207063 |
EAN: |
9783659207068 |
Kitabın dili: |
Russian |
Yazar: |
Даниил Абдуллаев |
Sayfa sayısı: |
88 |
Yayın tarihi: |
26.02.2014 |
Kategori: |
Elektronik, elektrik ve haberleşme teknolojileri |