LAP Lambert Academic Publishing ( 12.11.2012 )
€ 68,00
Монография посвящена изучению температурных режимов работы систем металлизации (в том числе и многослойных структур металл-диэлектрик-полупроводник) при прохождении через них импульсов тока. Приведены результаты экспериментальных исследований, начиная от нагрева алюминиевой металлизации, напыленной на кремниевую подложку, вплоть до развития деградационных процессов, как в самой металлической пленке, так и в контакте металл-полупроводник. Рассматривается методика, позволяющая проводить диагностику контактных систем и определять область их безопасной работы. В монографии обсуждаются также процессы дефектообразования в кремниевой подложке и методы диагностики структурных дефектов, возникающих вблизи локальных тепловых источников. Рекомендуется для студентов и инженерно-технических работников, специализирующихся в области микроэлектроники и физики полупроводников.
Kitap detayları: |
|
ISBN-13: |
978-3-659-29801-1 |
ISBN-10: |
3659298018 |
EAN: |
9783659298011 |
Kitabın dili: |
Russian |
Yazar: |
Аркадий Скворцов |
Sayfa sayısı: |
168 |
Yayın tarihi: |
12.11.2012 |
Kategori: |
Elektrik, manyetizma, optik |