Эффективность систем климатизации чистых комнат

Книга является монографией по чистым помещениям электронной промышленности. В ней рассмотрен комплекс задач обеспечения чисто-ты от теоретических основ техники чистых помещений и контроля мо-лекулярных аэрозольных загрязнений до практической реализации. Рассматриваются методики анализа молекулярных аэрозольных загрязнений в чистых помещениях нано- и микроэлектроники. Рассмотрен метод улавливания и идентификации органических соединений для снижения уровня загрязнения частицами и поддержания химически чистой атмосферы, в частности, приведен детальный анализ источников химических загрязнений воздуха. В книге приводятся примеры новых эффективных систем клима-тизации чистых помещений электронной промышленности. Некоторые из рассматриваемых технических решений применимы в сходных усло-виях и в других отраслях промышленности. Книга учитывает опыт, накопленный специалистами и организа-циями различных стран.