Динамическая модель порообразования в кремнии

Динамическая модель порообразования в кремнии

Формирование трехмерных пористых кластеров при электрохимическом травлении кремния в растворе плавиковой кислоты

LAP Lambert Academic Publishing ( 03.03.2011 )

€ 59,00

Купить в магазине MoreBooks!

Разработана компьютерная модель процессов формирования трехмерных пористых кластеров в полупроводниковых кристаллах кремния, учитывающая процессы на границе, участие реагентов в химических реакциях, изменение внутреннего потенциала со временем в ходе роста кластеров, а также доставку заряженных компонентов из глубины кристалла. Данная компьютерная модель позволяет лучше уяснить динамику формирования пор, визуально отобразить процесс формирования их структуры и наиболее интересные динамические объекты моделирования, проанализировать зависимость характера пористой структуры от параметров процесса порообразования, а также позволяет проанализировать численные характеристики кластеров, такие как средняя глубина пор, объём структуры, площадь поверхности кластера, фрактальная, корреляционная и массовая фрактальная размерности.

Детали книги:

ISBN-13:

978-3-8433-1587-6

ISBN-10:

3843315876

EAN:

9783843315876

Язык книги:

Russian

By (author) :

Алексей Можаев

Количество страниц:

148

Опубликовано:

03.03.2011

Категория:

Электричество, магнетизм, оптика