СИСТЕМЫ ТЕХНИЧЕСКОГО ЗРЕНИЯ

Монография посвящена вопросам разработки систем технического зрения (СТЗ) для контроля размеров изделий и диагностики роста кристаллов из высокотемпературного расплава, базирующихся на фурье-оптике, оптической триангуляции и цифровой обработке изображений. Рассмотрены методы дифференциальных измерений размеров изделий в дифракционных, корреляционных и проекционных оптических измерительных системах, основанные на пространственно-частотной фильтрации и мультиплицировании изображений.Предложены методы многолучевой лазерной триангуляции для зондирования нестационарной зеркальной поверхности с изменяющейся регулярной составляющей кривизны.Приведены результаты исследования изображения зоны кристаллообразования в методе Чохральского, формируемого оптической системой. Анализируется параллакс изображения и его влияние на метрологические характеристики видеосистемы контроля геометрии кристалла. Рассмотрены методы комплексного контроля уровня расплава и диаметра кристалла, инвариантные к вариациям скорости вращения расплава.Книга может быть полезна специалистам в области оптических измерений, разработчикам СТЗ и установок для выращивания кристаллов, студентам оптических специальностей.