LAP Lambert Academic Publishing ( 24.10.2011 )
€ 79,00
В монографии приведены новые теоретические подходы и методы, разработанные авторами при решении ряда прикладных задач физики газоразрядной плазмы. Физическое описание ионно-плазменных процессов дополнено совокупностью методов математического моделирования и приемов их статистического описания. На основе описания движения и взаимодействия отдельных атомных частиц проиллюстрированы общие закономерности явлений в процессе ионно-плазменного распыления. Показано, что закономерности, полученные при моделировании динамики изменения отдельных атомных подсистем, можно обобщить, с применением специальных процедур, на всю исследуемую систему процессов распыления в ионно-плазменной технологии. Проведена корреляция результатов статистического моделирования процессов ионно-плазменного распыления многокомпонентных материалов и экспериментальных исследований при нанесении тонких пленок сложного стехиометрического состава. Монография предназначена для студентов старших курсов физико-технических факультетов, аспирантов и научных сотрудников, специализирующихся в области газоразрядной плазмы и ионно-плазменной технологии.
Детали книги: |
|
ISBN-13: |
978-3-8465-1186-2 |
ISBN-10: |
3846511862 |
EAN: |
9783846511862 |
Язык книги: |
Russian |
By (author) : |
Валерий Вольпяс |
Количество страниц: |
208 |
Опубликовано: |
24.10.2011 |
Категория: |
Электроника, электротехника, коммуникационные технологии |