Динамика фазовых переходов на поверхности кремния

Данная работа посвящена исследованиям динамики структурных и фазовых переходов на поверхности полупроводников, которые проводились с использованием оригинальной дифракционной методики, основанной на регистрации in situ сигнала дифракции зондирующего излучения на специальных периодических структурах. В первой главе монографии приведён аналитический литературный обзор по проблемам импульсного светового облучения полупроводников. Во второй главе приведены описание техники и методики экспериментов. В частности, здесь приведено описание бесконтактной дифракционной методики для исследования динамики процессов рекристаллизации и локального плавления на поверхности имплантированных полупроводников. В третьей и четвертой частях работы рассказываются результаты экспериментальных исследований динамики фазовых переходов поверхностей имплантированного и монокристаллического кремния, соответственно, во время действия мощного светового облучения. В пятой главе приводятся результаты исследований влияния обработки в интенсивном потоке атомарного водорода на степень дефектности приповерхностных слоев монокристаллического кремния.