Самоорганизация нанокристаллов в карбонизированном пористом кремнии

В монографии представлены результаты исследований материала электронной техники – пористого кремния, а также его модификации – карбонизированного пористого кремния. Детально описаны механизмы формирования и электронно-стимулированной модификации нанокристаллов в пористом и карбонизированном пористом кремнии. В работе исследована кинетика фотолюминесценции пористого и карбонизированного пористого кремния под действием электронного и последующего лазерного облучения, а также исследовано влияние диффузионных процессов и зарядки поверхности нанокристаллов на их фотолюминесценцию. Для объяснения экспериментальных данных проведено численное моделирование процесса карбонизации квантовых нитей кремния, а также предложена термодинамическая модель формирования нанокристаллов карбида кремния.