LAP Lambert Academic Publishing ( 2018-06-28 )
€ 61,90
Многослойные системы типа CaF2 – CoSi2 – Si, GaAlAs – GaAs в настоящее время широко применяются в структурах кремний (или иной полупроводник) на диэлектрике, приборах на основе МДП – структур. Они также применяются для создания вспомогательных элементов приборных структур микроэлектроники, включая защитные и диэлектрические слои для материалов А3В5, оптические покрытия и окна для оптоэлектроники, монокристаллические высокоразрешающие резисты, буферные слои для создания на основе кремния новых гетерокомпозиций, например, алмаз – на кремнии и т.п. В данной работе приведены результаты комплексного изучения механизмов модификации и особенностей образования наноразмерных структур в поверхностных слоях PdBa, CoSi2, CaF2 и GaAs при низкоэнергетической ионной бомбардировке с последующей термической и лазерной обработкой.
Book Details: |
|
ISBN-13: |
978-613-9-86484-3 |
ISBN-10: |
6139864844 |
EAN: |
9786139864843 |
Book language: |
Russian |
By (author) : |
Сардор Донаев |
Number of pages: |
140 |
Published on: |
2018-06-28 |
Category: |
Physical chemistry |