LAP Lambert Academic Publishing ( 25.02.2014 )
€ 39,90
В данной работе были подобраны условия и составы растворов, удовлетворяющие всем требованиям, необходимым для получения нанометрических никелевых пленок, которые используются в качестве барьерных и токопроводящих слоев при металлизации труднодоступных участков поверхности полупроводников в технологии 3D TSV интегральных схем. Различными методами (электронно-микроскопическое исследование и др.) получены новые данные о влиянии различных активаторов (палладиевый, медный), солей редкоземельных металлов (лантан, висмут) на процессы образования и роста зародышей новой фазы (Ni-P), а также на состав, структуру и свойства пленок никель-фосфор, формирующихся из раствора химического никелирования на подложках различной природы (кремний, стекло, ITO).
Kitap detayları: |
|
ISBN-13: |
978-3-659-11309-3 |
ISBN-10: |
3659113093 |
EAN: |
9783659113093 |
Kitabın dili: |
Russian |
Yazar: |
Марина Липай |
Sayfa sayısı: |
68 |
Yayın tarihi: |
25.02.2014 |
Kategori: |
Elektronik, elektrik ve haberleşme teknolojileri |