LAP Lambert Academic Publishing ( 14.11.2013 )
€ 71,90
Книга является монографией по чистым помещениям электронной промышленности. В ней рассмотрен комплекс задач обеспечения чисто-ты от теоретических основ техники чистых помещений и контроля мо-лекулярных аэрозольных загрязнений до практической реализации. Рассматриваются методики анализа молекулярных аэрозольных загрязнений в чистых помещениях нано- и микроэлектроники. Рассмотрен метод улавливания и идентификации органических соединений для снижения уровня загрязнения частицами и поддержания химически чистой атмосферы, в частности, приведен детальный анализ источников химических загрязнений воздуха. В книге приводятся примеры новых эффективных систем клима-тизации чистых помещений электронной промышленности. Некоторые из рассматриваемых технических решений применимы в сходных усло-виях и в других отраслях промышленности. Книга учитывает опыт, накопленный специалистами и организа-циями различных стран.
Детали книги: |
|
ISBN-13: |
978-3-659-47989-2 |
ISBN-10: |
3659479896 |
EAN: |
9783659479892 |
Язык книги: |
Russian |
By (author) : |
Елена Севрюкова |
Количество страниц: |
180 |
Опубликовано: |
14.11.2013 |
Категория: |
Другое |