Оценка эффективных параметров векторного анализатора цепей на пластине

В первом разделе монографии приведены общие сведения о решаемой проблеме и модели измерительной системы для применения на полупроводниковой пластине. Во втором разделе рассмотрен математический аппарат решения задач нелинейной динамической фильтрации. Существенную часть монографии занимает третий раздел, в котором выполнена подробная проверка предлагаемых моделей и алгоритмов на примере обработки верификационных измерений в коаксиальном волноводе. В заключительном четвертом разделе приведены результаты трех экспериментов по верификации векторного анализатора цепей, работающего в составе зондовой станции. Эксперименты выполнены на установках до 40, 70 и 110 ГГц.