Электрофизические свойства окисла на неоднородной поверхности затворов ЗУ

Обзорные материалы 100 источников по конструкции, принципу действия, энергонезависимой памяти за 30 лет. Проведен обзор рынка энергонезависимой памяти (ЗУ). Рассмотрены электрофизические процессы проводимости в ультратонких пленках окисла на неоднородной поверхности поликремния затвора ЗУ. Проанализированы статистические и дискретные модели электронной проводимости диэлектрика на неоднородной поверхности. Определены принципы и обсуждены способы повышения электрической прочности термического окисла на поликремнии затвора ЗУ.