Основы моделирования элементов микро- и наноэлектроники

В монографии рассмотрены физические основы, проблемы и принципы моделирования приборных структур (элементов) микро- и наноэлектроники. С единых позиций проведена систематизация моделей элементов. Основное внимание уделено наиболее адекватным численным моделям. Книга предназначена для специалистов в области микро- и наноэлектроники, преподавателям, аспирантам, магистрантам и студентам соответствующих специальностей. Монография написана на основе статей автора, опубликованных в ведущих научно-технических журналах Российской Федерации в области микро- и наноэлектроники, и обобщает его сорокалетний опыт работы в данной области науки.