LAP Lambert Academic Publishing ( 06.03.2012 )
€ 59,00
Данная работа посвящена исследованиям динамики структурных и фазовых переходов на поверхности полупроводников, которые проводились с использованием оригинальной дифракционной методики, основанной на регистрации in situ сигнала дифракции зондирующего излучения на специальных периодических структурах. В первой главе монографии приведён аналитический литературный обзор по проблемам импульсного светового облучения полупроводников. Во второй главе приведены описание техники и методики экспериментов. В частности, здесь приведено описание бесконтактной дифракционной методики для исследования динамики процессов рекристаллизации и локального плавления на поверхности имплантированных полупроводников. В третьей и четвертой частях работы рассказываются результаты экспериментальных исследований динамики фазовых переходов поверхностей имплантированного и монокристаллического кремния, соответственно, во время действия мощного светового облучения. В пятой главе приводятся результаты исследований влияния обработки в интенсивном потоке атомарного водорода на степень дефектности приповерхностных слоев монокристаллического кремния.
Детали книги: |
|
ISBN-13: |
978-3-8484-2524-2 |
ISBN-10: |
3848425246 |
EAN: |
9783848425242 |
Язык книги: |
Russian |
By (author) : |
Максим Захаров |
Количество страниц: |
156 |
Опубликовано: |
06.03.2012 |
Категория: |
Физика, астрономия |