Термоэлектрические преобразователи ИК излучения на основе пленок ВСМ

В книге излагаются результаты многолетних исследований процесса формирования эффективных термоэлектрических материалов, в часности, высшего силицида марганца. Рассматриваются термоэлектрические материалы на основе силицидов, система Mn-Si и их свойства. Приводятся сведения о силицидных пленочных материалах и их свойствах. Особое внимание уделено новейшим современным матодам аналитической электронной микроскопии для исследования структуры термоэлектрических материалов. Рассматриваются особенности роста пленок высшего силицида марганца в процессе диффузионного легирования атомов марганца в кремний в вакууме и получению тонких пленок Mn4Si7 методом магнетронного распыления. Анализируются подходы по улучшению термоэлектрических свойств материалов. Книга предназначена для научных работников и докторантов, специализирующихся в области полупроводниковых приборов и микроэлектроники, физики полупроводников и конденсированных сред, физической электроники. Она полезна также студентам и магистрам, обучающимся в области материаловедения, физической и наноэлектроники.