LAP Lambert Academic Publishing ( 06.11.2012 )
€ 59,00
Настоящая работа посвящена новым аспектам научного исследования, модернизации и применения источников ионов на основе газового разряда с полым катодом. Несмотря на то, что источники данного типа обладают рядом бесспорных достоинств, об их успешном применении в современных технологиях микроэлектроники известно крайне мало. В связи с этим, автор изучает работу источников на химически активных газах, в число которых входят органические соединения для «набирающей ход» углеродной (органической) электроники и детально описывает процессы создания новых технологических источников с улучшенными техническими характеристиками. Помимо этого, в число представленных в книге разработок входят источники с большой площадью поперечного сечения пучка частиц, востребованные промышленными производственными установками. Автор приводит результаты разработки и анализа основ технологий синтеза различных модификаций тонких пленок углерода, а также очистки подложек микроплат непосредственно с помощью пучков ионов.
Kitap detayları: |
|
ISBN-13: |
978-3-659-29592-8 |
ISBN-10: |
3659295922 |
EAN: |
9783659295928 |
Kitabın dili: |
Russian |
Yazar: |
Евгений Шевченко |
Sayfa sayısı: |
160 |
Yayın tarihi: |
06.11.2012 |
Kategori: |
Elektronik, elektrik ve haberleşme teknolojileri |