Книга посвящена рассотрению технологических процессов электрохимического формирования пористых оксидов металлов и наноструктур на их основе, совместимых с маршрутами изготовления приборов нано- и микросистемной техники, сенсорики. Анализируется современное состояние этого вопроса в мире. Обсуждаются оригинальные результаты, полученные в области получения пористых анодных оксидов алюминия и тугоплавких металлов. Отдельное внимание уделено проблеме формирования наноструктур на основе вышеупомянутых оксидных слоев.

Детали книги:

ISBN-13:

978-3-659-34210-3

ISBN-10:

3659342106

EAN:

9783659342103

Язык книги:

Russian

By (author) :

А.Н. Белов

Количество страниц:

308

Опубликовано:

28.02.2013

Категория:

Электроника, электротехника, коммуникационные технологии