Пористый фосфид индия

Травление фосфида индия во фторсодержащих и хлорсодержащих средах входит в арсенал методов современной микроэлектроники, позволяющих формировать объекты с пониженной размерностью. Пористый InP обладает различными физико-химическими свойствами: фото- и электролюминесценцией, адсорбционной чувствительностью, свойствами фотонных кристаллов и др. Помимо изучения свойств создаваемых веществ особый интерес представляет исследование специфики физических процессов, лежащих в основе порообразования. Определение этих аспектов открывает большую перспективу в изучении как динамики процессов порообразования, так и влияния различных факторов на морфологические и физико-химические свойства пористого InP. Монография предназначена для специалистов, работающих в отрасли нанотехнологии, а также для студентов высших учебных заведений.