Процессы при взаимодействии ионов с поверхностью

В работе выполнен системный анализ теоретических и экспериментальных работ по исследованию физических процессов при ионном распылении поверхности твердых тел. Классифицированы процессы распыления и ионообразованияРазработаны новые представления и модели процессов возбуждения атомов в каскадах атомных столкновений в приповерхностных слоях твердого тела и в системе атом–поверхность. При этом впервые в теории возбуждения вторичных атомов при распылении использованы представления о квазичастицах, в качестве которых рассмотрены возбуждения в каскадах атомных столкновений и поверхностные плазмоны, взаимодействующие с вторичными атомами. Показано, что во многих случаях может быть решена обратная задача спектроскопии энергетических распределений вторичных ионов, направленная на получение физических характеристик (энергии связи атомов и работы выхода электрона) отдельных гомогенных компонент в составе гетерогенных мишеней. Исследованы изотопные эффекты в энергетических спектрах вторичных ионов. Обнаружены и исследованы изотопные эффекты при внешних воздействиях на поверхность.Описаны результаты использования энерго- масс- спектрометрии вторичных ионов для решения технологических задач.