LAP Lambert Academic Publishing ( 2011-06-15 )
€ 59,00
В работе описана новая конструкция и схема расположения катодного и анодного узлов разработанной установки ионно-плазменного травления микроструктур со сканируемым ВЧ - магнетроном, обеспечивающие высокие скорости ионного и реактивно-ионного травления различных материалов. Определены и описаны оптимальные режимы травления кварца. Впервые предложено устройство для утилизации хлорсодержащих газов и (или) изменения состава рабочего газа. Определены оптимальные режимы процессов реактивного ионно-лучевого травления кварца в различных хлорсодержащих газах. Исследованы возможности использования твердотельного источника фтора для ионно-лучевого травления кварца. Определены оптимальные режимы ионно-лучевых и ионно-плазменных процессов полировки кварца.
Book Details: |
|
ISBN-13: |
978-3-8443-5288-7 |
ISBN-10: |
3844352880 |
EAN: |
9783844352887 |
Book language: |
Russian |
By (author) : |
Владимир Ветошкин |
Number of pages: |
144 |
Published on: |
2011-06-15 |
Category: |
Physics, astronomy |