Вакуумно-плазменные процессы обработки кварца

Вакуумно-плазменные процессы обработки кварца

Исследование влияния обработки в различных газах на поверхность кварца.

LAP Lambert Academic Publishing ( 15.06.2011 )

€ 59,00

MoreBooks! sitesinden satın al

В работе описана новая конструкция и схема расположения катодного и анодного узлов разработанной установки ионно-плазменного травления микроструктур со сканируемым ВЧ - магнетроном, обеспечивающие высокие скорости ионного и реактивно-ионного травления различных материалов. Определены и описаны оптимальные режимы травления кварца. Впервые предложено устройство для утилизации хлорсодержащих газов и (или) изменения состава рабочего газа. Определены оптимальные режимы процессов реактивного ионно-лучевого травления кварца в различных хлорсодержащих газах. Исследованы возможности использования твердотельного источника фтора для ионно-лучевого травления кварца. Определены оптимальные режимы ионно-лучевых и ионно-плазменных процессов полировки кварца.

Kitap detayları:

ISBN-13:

978-3-8443-5288-7

ISBN-10:

3844352880

EAN:

9783844352887

Kitabın dili:

Russian

Yazar:

Владимир Ветошкин
Петр Крылов

Sayfa sayısı:

144

Yayın tarihi:

15.06.2011

Kategori:

Fizik, astronomi