Применение ионно-лучевого травления при удалении пассивации микросхем

Применение ионно-лучевого травления при удалении пассивации микросхем

Использование в рамках технологии анализа отказов интегральных микросхем методом послойного препарирования

LAP Lambert Academic Publishing ( 26.02.2014 )

€ 39,90

Купить в магазине MoreBooks!

В данной работе приведён аналитический обзор отечественной и зарубежной литературы по методу сухого вакуумного травления материалов, представлен обзор применяемой методики исследования. В работе представлены результаты оптимизации процессов реактивно-ионного плазменного и ионно-лучевого травления пассивационных слоёв интегральных микросхем в рамках технологии анализа отказов. В организационно-экономической части представлены расчёты стоимости и целесообразности данных исследований. Результатом проведённой работы стала новая методика удаления пассивационных слоёв интегральных микросхем в рамках технологии анализа отказов, отличающаяся от существующих высокой степенью планаризации поверхности кристалла интегральной схемы при минимальном повреждении межслойного диэлектрика.

Детали книги:

ISBN-13:

978-3-659-20706-8

ISBN-10:

3659207063

EAN:

9783659207068

Язык книги:

Russian

By (author) :

Даниил Абдуллаев

Количество страниц:

88

Опубликовано:

26.02.2014

Категория:

Электроника, электротехника, коммуникационные технологии